| 发明名称 |
TAPER ETCHING OF CHROMIUM FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0195524(A) |
申请公布日期 |
1989.04.13 |
| 申请号 |
JP19870253423 |
申请日期 |
1987.10.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TSUTSUMI MICHINARI;ENDO ATSUSHI;YADA TOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/306;C23F1/00;C23F1/20;C23F1/26;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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