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发明名称 METHODS OF FORMING ELECTRONIC MICROCIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0083397(B1) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 EP19820109507 申请日期 1982.10.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CANAVELLO, BENJAMIN JOHN;HATZAKIS, MICHAEL
分类号 H01L21/3205;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/306;H05K3/00;H05K3/04;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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