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发明名称 SEMICONDUCTOR DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0192634(A) 申请公布日期 1989.04.11
申请号 JP19870249614 申请日期 1987.10.02
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 AGA TOSHIO
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L13/06 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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