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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0192384(A) 申请公布日期 1989.04.11
申请号 JP19870247926 申请日期 1987.10.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUJIMOTO KAZUNORI;SHINDO KEIJIRO;TAJI SHINICHI;OKUDAIRA SADAYUKI
分类号 C23C14/34;C23F4/00;G01K1/14 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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