| 发明名称 |
PROCEDE POUR LA FORMATION ET LA MISE AU POINT D'UN COMPOSANT PELLICULAIRE SUR UNE PLAQUETTE DE CIRCUIT INTEGRE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
LU87352(A1) |
申请公布日期 |
1989.04.06 |
| 申请号 |
LU19880087352 |
申请日期 |
1988.09.28 |
| 申请人 |
ANALOG RESEARCH AND DEVELOPMENT LIMITED |
发明人 |
THOMAS GERARD O'DWYER;EAMONN GERARD RYAN;THOMAS GERARD COLLERY;ANDREW DAVID BAIN;WILLIAM ALLAN LANE |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/70;(IPC1-7):C23C/;H01L/ |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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