发明名称 PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 AU582628(B2) 申请公布日期 1989.04.06
申请号 AU19860053377 申请日期 1986.02.11
申请人 NAPP SYSTEMS (U.S.A.) INC. 发明人 SEIO MAMORU;HIDEFUMI KUSUDA;MASAMI KAWABATA
分类号 C08F20/00;A63F9/24;C08F2/44;C08F2/50;C08F20/26;C08F20/38;C08F20/52;C08F30/00;C08F30/02;C08F220/00;C08F220/04;C08F220/26;C08F220/38;C08F220/58;C08F230/02;C08F290/12;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/033;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/70;G03F7/02 主分类号 C08F20/00
代理机构 代理人
主权项
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