原位输运性质测量方法

摘要

一种原位输运性质测量方法，包括以下步骤：一第一真空环境中，在一基底上制备一膜状结构；一第二真空环境中，在该膜状结构远离基底的表面设置一电极，并在所述膜状结构远离基底的表面上进行微刻划处理，刻划出一微刻划区域，所述电极位于该微刻划区域内；以及一第三真空环境中，将一探针阵列接触所述电极，进行输运性质的测量；所述第一真空环境、第二真空环境、第三真空环境为一连续的真空环境，该连续的真空环境是指所述膜状结构从第一真空环境直接进入第二真空环境，并从第二真空环境直接进入第三真空环境，该膜状结构没有与空气接触。本发明还涉及一种原位输运性质测量装置。

主权项

一种原位输运性质测量方法，包括以下步骤：一第一真空环境中，在一基底上制备一膜状结构；一第二真空环境中，在该膜状结构远离基底的表面设置一电极，并在所述膜状结构远离基底的表面上进行微刻划处理，刻划出一微刻划区域，所述电极位于该微刻划区域内；以及一第三真空环境中，将一探针阵列接触所述电极，测量该膜状结构的输运性质，其中，所述第一真空环境、第二真空环境、第三真空环境为一连续的真空环境。