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发明名称 DIFFUSION FURNACE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6489514(A) 申请公布日期 1989.04.04
申请号 JP19870248331 申请日期 1987.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 OTA HIROYUKI
分类号 C30B31/16;H01L21/22;H01L21/223 主分类号 C30B31/16
代理机构 代理人
主权项
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