发明名称 ISOTHERMAL VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6489315(A) 申请公布日期 1989.04.03
申请号 JP19870243600 申请日期 1987.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 FUJINO YOSHIO
分类号 C30B25/18;C30B29/48;H01L21/203 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
地址