| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6486547(A) |
申请公布日期 |
1989.03.31 |
| 申请号 |
JP19870244980 |
申请日期 |
1987.09.28 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
SUZUKI AKIRA;FURUKAWA MASAKI;SHIGETA MITSUHIRO;FUJII YOSHIHISA;UEMOTO ATSUKO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L27/00;H01L27/06;H01L27/095;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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