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发明名称
ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPS6486433(A)
申请公布日期
1989.03.31
申请号
JP19870244475
申请日期
1987.09.29
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
YANASE TOSHINOBU
分类号
H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
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