发明名称 AUTOMATIC MICRO-POSITIONING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6486210(A) 申请公布日期 1989.03.30
申请号 JP19870243219 申请日期 1987.09.28
申请人 YASKAWA ELECTRIC MFG CO LTD 发明人 NAGASE TAKASHI
分类号 G05D3/00;G05D3/12 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
主权项
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