发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6484659(A) 申请公布日期 1989.03.29
申请号 JP19870240837 申请日期 1987.09.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIDA AKITO
分类号 H01L21/8238;H01L21/336;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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