发明名称 Baths and process for chemically polishing copper or copper alloy surfaces.
摘要 <p>Bains pour le polissage chimique de surfaces en cuivre ou alliage de cuivre, comprenant, en solution aqueuse, du peroxyde d'hydrogène, des ions chlorure, de l'acide phosphorique et des ions phosphate et hydrogénophosphate en quantités réglées pour conférer au bain un pH compris entre 1,25 et 3.</p>
申请公布号 EP0309031(A1) 申请公布日期 1989.03.29
申请号 EP19880201981 申请日期 1988.09.13
申请人 SOLVAY & CIE (SOCIETE ANONYME) 发明人 TYTGAT, DANIEL;MAGNUS, STEFAAN
分类号 C23F3/00;C23F3/06 主分类号 C23F3/00
代理机构 代理人
主权项
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