发明名称 LINEAR SCALE
摘要
申请公布号 JPS6483110(A) 申请公布日期 1989.03.28
申请号 JP19870242211 申请日期 1987.09.25
申请人 NEC CORP 发明人 KONNO HIDETO;INATOMI CHIKAKO
分类号 C22C19/03;G01D5/245;H01L43/08;H01L43/10 主分类号 C22C19/03
代理机构 代理人
主权项
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