发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6481371(A) 申请公布日期 1989.03.27
申请号 JP19870239819 申请日期 1987.09.24
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAKIHARA YASUO;TANIZEN YOSHIICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/822;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/861 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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