| 发明名称 |
FORMATION OF FERROELECTRIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6481192(A) |
申请公布日期 |
1989.03.27 |
| 申请号 |
JP19870237656 |
申请日期 |
1987.09.22 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HASEGAWA TADASHI;WATABE JUNICHI;KATAYAMA YOSHIROU;WAKITANI MASAYUKI;SATO KIYOTAKE |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/24;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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