发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6481252(A) 申请公布日期 1989.03.27
申请号 JP19870237151 申请日期 1987.09.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUROSAWA AKIKO;MIYAZAWA KAZUYUKI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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