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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6481252(A)
申请公布日期
1989.03.27
申请号
JP19870237151
申请日期
1987.09.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
KUROSAWA AKIKO;MIYAZAWA KAZUYUKI
分类号
H01L23/522;H01L21/768
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
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