发明名称 |
SINGLE CRYSTAL GROWTH DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6479098(A) |
申请公布日期 |
1989.03.24 |
申请号 |
JP19870234345 |
申请日期 |
1987.09.18 |
申请人 |
NIPPON MINING CO LTD |
发明人 |
YAMAMOTO HIROMASA;MORI MASAYUKI;ODA OSAMU |
分类号 |
H01L21/18;C30B15/00;C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208 |
主分类号 |
H01L21/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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