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发明名称 FORMATION OF PROTECTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPS6477942(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19870235869 申请日期 1987.09.18
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU YAMANASHI ELECTRON:KK 发明人 OSAKA SHIGEO;MATSUNAGA YUMIKO
分类号 H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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