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发明名称 PHOTO ASSISTED CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS6476717(A) 申请公布日期 1989.03.22
申请号 JP19870232287 申请日期 1987.09.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAMIMURA TAKAAKI;ITO HIROSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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