TARGET FOR DC MAGNETRON SPUTTERING DEVICE,申请号JP19870234515-传众专利搜索

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发明名称	TARGET FOR DC MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6475675(A)	申请公布日期	1989.03.22
申请号	JP19870234515	申请日期	1987.09.18
申请人	NEC CORP	发明人	MORI MATSUTOMO
分类号	C23C14/36;C23C14/35	主分类号	C23C14/36
代理机构		代理人
主权项
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