发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6475676(A) 申请公布日期 1989.03.22
申请号 JP19870233093 申请日期 1987.09.16
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 SEKINE KOHEI
分类号 C23C14/48;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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