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经营范围
发明名称
CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6473071(A)
申请公布日期
1989.03.17
申请号
JP19870228445
申请日期
1987.09.14
申请人
MITSUBISHI HEAVY IND LTD
发明人
SHIMOZATO YOSHIO;TAGUCHI TOSHIO;HIRAI ETSURO;TANIZAKI KEIJI
分类号
C23C14/56;C23C14/20
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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