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发明名称 SELECTIVE ETCHING METHOD OF POLYIMIDE TYPE RESIN FILM
摘要
申请公布号 EP0082417(B1) 申请公布日期 1989.03.15
申请号 EP19820111392 申请日期 1982.12.09
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SAIKI, ATSUSHI;IWAYANAGI, TAKAO;NONOGAKI, SABURO;NISHIDA, TAKASHI;HARADA, SEIKI
分类号 H01L21/30;C08J7/02;H01L21/027;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/312;H05K1/03;H05K3/00;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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