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发明名称 METHOD OF PREPARING SAMPLES OF FILMS APPLIED ON SILICON BACKING SURFACE FOR ELECTRON-MICROSCOPIC EXAMINATION
摘要
申请公布号 SU1465739(A1) 申请公布日期 1989.03.15
申请号 SU19874223833 申请日期 1987.04.07
申请人 INST PROBLEM TEKHNOLOGII MIKROELEKTRONIKI OSOBOCHISTYKH MATERIALOV AN SSSR 发明人 GOLOVCHANSKIJ MIKHAIL E,SU;MARCHENKO VIKTOR A,SU
分类号 G01N1/28;G01N23/225 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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