| 发明名称 |
POWER SOURCE DEVICE FOR PLASMA DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6467853(A) |
申请公布日期 |
1989.03.14 |
| 申请号 |
JP19870223743 |
申请日期 |
1987.09.07 |
| 申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
NAKAJIMA SHINOBU;OKABE SHUICHI;NEHASHI KIYOSHI |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J17/30;H01J17/36;H01J37/04;H01J37/08;H01J37/24;H02M9/00;H05H1/24 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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