发明名称 FORMATION OF ELECTRODE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6467912(A) 申请公布日期 1989.03.14
申请号 JP19870224038 申请日期 1987.09.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAGISHI HARUO;MIYAUCHI MASAYOSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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