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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6464351(A) 申请公布日期 1989.03.10
申请号 JP19870222502 申请日期 1987.09.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORITA ISAO
分类号 H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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