发明名称 GRAPHITE CRUCIBLE FOR PULLING-UP OF SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6461384(A) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 JP19870217227 申请日期 1987.08.31
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 TAKAGI TAKASHI
分类号 C30B15/10;C30B29/06;H01L21/18 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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