| 发明名称 |
HEAT TREATMENT FURNACE FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6460988(A) |
申请公布日期 |
1989.03.08 |
| 申请号 |
JP19870218440 |
申请日期 |
1987.08.31 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MURAOKA YUSUKE;SAKAI TAKAMASA;NAKAGAWA KEIJI |
| 分类号 |
H01L21/22;F27D11/02;H05B3/66 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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