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经营范围
发明名称
BEAM PLASMA TYPE ION GUN
摘要
申请公布号
JPS6460942(A)
申请公布日期
1989.03.08
申请号
JP19870218232
申请日期
1987.08.31
申请人
NEC CORP
发明人
KAWASE YUTAKA;NAKAMURA TSUYOSHI;ISHIDA HISANORI
分类号
H01J37/08;H01J27/02;H01J27/20
主分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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