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发明名称 ONE MASK TECHNIQUE FOR SUBSTRATE CONTACTING IN INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0146760(A3) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 EP19840113732 申请日期 1984.11.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JAMBOTKAR, CHAKRAPANI GAJANAN;MALAVIYA, SHASHI DHAR
分类号 H01L21/033;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/762;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/74;H01L21/30 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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