| 发明名称 |
HEAT TREATMENT DEVICE FOR RESIST COATED SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6459915(A) |
申请公布日期 |
1989.03.07 |
| 申请号 |
JP19870217284 |
申请日期 |
1987.08.31 |
| 申请人 |
SIGMA GIJUTSU KOGYO KK |
发明人 |
TAKANO MICHIAKI;KIKUCHI AKIRA |
| 分类号 |
H05K3/06;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H05K3/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
