发明名称 |
COATING AGENT FOR FORMING OXIDE SUPERCONDUCTIVE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6454620(A) |
申请公布日期 |
1989.03.02 |
申请号 |
JP19870210951 |
申请日期 |
1987.08.24 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
UCHIKAWA HIDEFUSA;KOBAYASHI TOSHIO |
分类号 |
C23C24/08;C01G1/00;C04B41/87;C23C18/12;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C24/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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