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发明名称 PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 JPS6450427(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870206285 申请日期 1987.08.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITO YUTAKA;SHIDA HIROYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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