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发明名称 MOS SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6450566(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870207727 申请日期 1987.08.21
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 ICHIKAWA MATSUO
分类号 H01L21/768;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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