发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6450548(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870206525 申请日期 1987.08.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHIRAISHI MASATOSHI
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址
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