发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6450430(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870206440 申请日期 1987.08.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAYASHIKI TETSUYA
分类号 H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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