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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6430357(U) 申请公布日期 1989.02.23
申请号 JP19870123637U 申请日期 1987.08.12
申请人 发明人
分类号 C23C16/18;C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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