| 发明名称 |
ENHANCED CVD METHOD FOR DEPOSITION OF CARBON |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0284190(A3) |
申请公布日期 |
1989.02.22 |
| 申请号 |
EP19880301364 |
申请日期 |
1988.02.18 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
YAMAZAKI, SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/27;C23C16/511;C30B25/10;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/27 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
