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发明名称
GROWTH METHOD OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS6446936(A)
申请公布日期
1989.02.21
申请号
JP19870203900
申请日期
1987.08.17
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
AWAYA NOBUYOSHI;ARITA MUTSUNOBU
分类号
C23C16/46;H01L21/205;H01L21/316
主分类号
C23C16/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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