发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6446933(A) 申请公布日期 1989.02.21
申请号 JP19870203769 申请日期 1987.08.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SEKINE MASAHIRO;MORII HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/52 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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