| 发明名称 |
HIGH-FREQUENCY DISCHARGE-EXCITED LASER UNIT. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0294492(A4) |
申请公布日期 |
1989.02.21 |
| 申请号 |
EP19880900131 |
申请日期 |
1987.12.22 |
| 申请人 |
FANUC LTD |
发明人 |
EGAWA, AKIRA FANUC MANSHON HARIMOMI 3-303 |
| 分类号 |
H01S3/03;H01S3/038;H01S3/0975;H01S3/0977;(IPC1-7):H01S3/03 |
主分类号 |
H01S3/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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