发明名称 PYROLYTIC BORON NITRIDE VESSEL
摘要
申请公布号 JPS6445800(A) 申请公布日期 1989.02.20
申请号 JP19870200825 申请日期 1987.08.13
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 IWASA MITSUYOSHI;IKEDA TAKASHI;IDE MASARU
分类号 C23C16/34;B30B15/10;C30B11/00;C30B27/02;C30B35/00 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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