发明名称 SEMICONDUCTOR SUPERLATTICE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS6445113(A) 申请公布日期 1989.02.17
申请号 JP19870202376 申请日期 1987.08.13
申请人 SHIOTANI SHIGEO;MITA AKIRA;MARUYAMA SUSUMU;ISHIBASHI SHINICHIRO 发明人 MITA AKIRA;MARUYAMA SUSUMU;ISHIBASHI SHINICHIRO;SHIOTANI SHIGEO
分类号 C30B23/08;C30B29/48;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/36 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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