发明名称 VORRICHTUNG ZUR MUSTER- UND LAGEERKENNUNG VON OBJEKTEN MIT EINER GROSSFLAECHIGEN FOTODIODENZEILE.
摘要
申请公布号 AT40213(T) 申请公布日期 1989.02.15
申请号 AT19850108681T 申请日期 1985.07.11
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUENCHEN 发明人 MARTIN, ROLF, DIPL.-ING.;ROTH, NORBERT, DIPL.-ING.;FROESE-PEECK, RUEDIGER, DIPL.-ING.
分类号 G01B11/02;G01N21/88;H01L31/02;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
地址