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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING WAFERS OF SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0229687(A3) 申请公布日期 1989.02.15
申请号 EP19870300050 申请日期 1987.01.06
申请人 ATLANTIC RICHFIELD COMPANY 发明人 MOFFATT, ALEX P.;JACKSON, RICHARD C.
分类号 H01L21/304;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;B28D5/04;C30B33/00;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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