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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6442172(A) 申请公布日期 1989.02.14
申请号 JP19870198050 申请日期 1987.08.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 NANBA MITSUO;SHIBA TAKEO;TAKEDA EIJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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