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发明名称 PROCESS FOR FORMING DEPOSITED FILM
摘要
申请公布号 EP0241317(A3) 申请公布日期 1989.02.08
申请号 EP19870303225 申请日期 1987.04.13
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 HIRAI, YUTAKA;SHIRAI, SHIGERU;MATSUYAMA, JINSHO
分类号 C23C16/24;C23C16/452;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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